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피에조 스테이지 관련하여 유용한 기초 기술자료가 있습니다. 다운로드하여 참고하시기 바랍니다.
1. 압전소자의 특성
2. 피에조 스테이지의 매카니즘과 재료
3. 정전용량식 변위 센서
4. Open loop제어, Closed loop 제어
5. 케이블 연장
6. 진공 사양
7. 피에조 스테이지의 설치 방향
8. 스펙표 보는 방법
9. 공진주파수의 계산식에 대하여
10. 동작 매카니즘의 특징
11. 동작 검사 방법
12. 동작 데이터 예
13. PID게인 조정
14. 샘플 소프트웨어
15. 단위 환산예
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